용인 반도체클러스터 첨단반도체 양산연계형 미니팹 기반구축사업 예비 타당성 조사 대상 선정
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작성자 TISSUE 작성일 24-02-17 02:04 댓글 0본문
1. 용인 반도체클러스터에서 첨단반도체 양산연결 미니팹 기반구축사업 예비 타당성 조사를 실시할 예정이다.
2. 사업은 반도체 소재, 부품, 장비를 실증할 수 있는 최첨단 미니팹(테스트 베드)을 만드는 것을 목표로 한다.
3. 총사업비는 9060억원이며, 국비 3930억원, 지방비 730억원, 민간 자본 4400억원이 투입될 예정이다.
[용어 해설]
1) 미니팹: 클린룸 내에 최첨단 반도체 공정과 성능평가 장비를 갖추고 제품의 양산 신뢰성을 검증하는 시설.
2) 반도체 소재: 반도체 제조에 사용되는 원료 및 재료.
3) 부품: 반도체 제조 과정에서 사용되는 각종 부품.
4) 장비: 반도체 제조에 사용되는 기계 및 장치.
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